无尘洁净室技术应用

　　无尘洁净室技术应用

　　无尘洁净室的气流速度/换气次数，一直是洁净室设计中受到关注的题目，跟着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的进步等，对有关规范、导则等提 出的推荐或参考值是否偏于守旧，已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等题目已在实践中得到解决，跟着FFU的精益求精，对是否采用 FFU回风系统也是个热门：悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC产业中已日益提到日程上来，受到关注。

　　无尘洁净室内一定洁净度下气流速度的确定，随洁净室用途等详细情况而异，它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响，就产业洁净室而言，影响洁净度及选择气流速度的因素主要是：

　　(1)室内污染源：建筑物组件、职员数目及操纵流动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒开释源，根据详细情况而异，变化很大;

　　(2)室内气流流型及分布：单向流要求平均、同等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及职员流动情况等的干扰形成局部涡流;而非单向流要求充混合，避免死角及温度分层。以下对这些题目的情况分别作归纳和分析。